Un enfoque innovador para el recubrimiento iónico en máquinas de recubrimiento al vacío
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Un enfoque innovador para el recubrimiento iónico en máquinas de recubrimiento al vacío
El método innovador de recubrimiento de iones de arco múltiple de equipos de recubrimiento al vacío, el llamado recubrimiento de iones de arco múltiple, consiste en colocar el material que se va a recubrir y el sustrato a recubrir en la habitación. Y volar por pulverización catódica a la superficie del sustrato chapado para condensar y formar una película.
El método de revestimiento de iones de arco múltiple tiene muchas ventajas en la formación de películas en condiciones que pueden reducir la colisión entre átomos y moléculas del material de evaporación en el proceso de volar al sustrato, y reducir la reacción química entre las moléculas activas en el gas y el material fuente de evaporación (como la oxidación, etc.), y reduce la cantidad de moléculas de gas que ingresan a la película para convertirse en impurezas durante el proceso de formación de la película, mejorando así la densidad, la pureza, la tasa de deposición y la adhesión de la capa de película a el sustrato
El proceso de detección de fugas de vacío de la máquina de revestimiento al vacío.
Primero, es necesario confirmar si la fuga es una fuga virtual o una fuga real, porque el material de la pieza de trabajo generará gas en diversos grados después del calentamiento, lo que puede confundirse con el gas que fluye desde el exterior, que es una fuga virtual. , y esta situación debe ser descartada. .
En segundo lugar, pruebe la estanqueidad al gas de la cámara de vacío para garantizar que la estanqueidad al gas cumpla con los requisitos.
En tercer lugar, verifique el tamaño, la forma, la ubicación y la velocidad de la fuga, prepare una solución e impleméntela.
En cuarto lugar, determine la tasa de fuga mínima detectable y la sensibilidad de detección de fugas del instrumento de detección, detecte fugas de aire en el rango más amplio, evite que se ignoren algunas fugas y mejore la precisión de la detección de fugas.
Quinto, comprenda el tiempo de respuesta y el tiempo de eliminación del instrumento de detección de fugas, domine bien el tiempo y asegúrese de que el instrumento de detección de fugas funcione en su lugar. Si el tiempo es corto, el efecto de detección de fugas definitivamente será pobre. Si el tiempo es largo, se desperdiciarán los costos de electricidad y mano de obra de detección de fugas.
Sexto, también es necesario evitar el bloqueo del orificio de fuga. En ocasiones por errores de funcionamiento, algún polvo o líquido obstruye el orificio de fuga durante el proceso de detección de fugas, pensando que no hay orificio de fuga en esta posición, pero cuando estos bloqueos se deben a la diferencia de presiones internas y externas. Por otras razones, la fuga no está bloqueada y aún existe.
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