Máquina formadora de vacío Máquina de revestimiento por haz de electrones Materiales de revestimiento
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Máquina formadora de vacío Máquina de revestimiento por haz de electrones Materiales de revestimiento
En condiciones de alto vacío, la máquina de recubrimiento por haz de electrones emite electrones termoiónicos, que son acelerados por el ánodo de aceleración y obtienen una enorme energía cinética para bombardear el material de evaporación, y la energía cinética se convierte en calor para calentar el material de evaporación y realizar la evaporación del haz de electrones. revestimiento. Un recubridor de haz de electrones consta de un cátodo caliente que emite electrones, un electrodo acelerador de electrones y un material de recubrimiento que actúa como ánodo. La energía de la fuente de evaporación del haz de electrones puede estar muy concentrada, de modo que el material de revestimiento alcanza localmente una temperatura elevada y se evapora. Al ajustar la potencia del haz de electrones, la tasa de evaporación del material de recubrimiento se puede controlar fácilmente, especialmente para materiales compuestos y metales de alta pureza y alto punto de fusión.
El calentamiento por haz de electrones anterior al vacío produce una mayor densidad de flujo
(1) El método de calentamiento por haz de electrones en la recubridora se comparó con el método tradicional de calentamiento por resistencia. El calentamiento por haz de electrones producirá una mayor densidad de flujo, lo que conduce a la evaporación de materiales de alto punto de fusión y también puede aumentar la tasa de evaporación hasta cierto punto.
(2) Cuando la máquina de recubrimiento por haz de electrones está funcionando, la materia prima que se va a evaporar se coloca en el crisol de cobre enfriado por agua, lo que puede evitar que el material se contamine y producir una película de alta pureza.
Dispositivo de limpieza de iones para máquina formadora de vacío máquina de recubrimiento por haz de electrones
El equipo recubridor de haz de electrones adopta una fuente de iones Kaufman, el campo eléctrico y el voltaje son 1.5KV, el filamento es el cátodo, la parte mecánica es el ánodo y el ánodo está conectado a tierra. El principio de funcionamiento es que el gas argón se inyecta en la cámara de ionización y los átomos de argón del gas se ionizan en plasma mediante descarga de arco. El haz de iones negativos se extrae del plasma bajo la acción de electrodos que tienen un potencial positivo con respecto al plasma. Bajo la acción del campo eléctrico, los iones negativos de argón con una energía de 0.5-5 kev se desplazan del cátodo al ánodo, bombardeando la superficie de las piezas mecanizadas a gran velocidad. Los iones de argón tienen solo unas pocas décimas de nanómetro de diámetro. Después de que el haz de iones bombardea la superficie de la pieza de trabajo, los átomos en la superficie de la pieza de trabajo se pulverizan debido a la energía cinética de los iones de argón. Para lograr el propósito de eliminar los contaminantes en la superficie de la pieza de trabajo, es decir, la limpieza iónica de la pieza de trabajo.
El mecanismo de alimentación del material de la película y la estructura de alimentación y rotación de las piezas procesadas también son componentes indispensables de la máquina de recubrimiento por haz de electrones, porque el principio de funcionamiento y los componentes principales de estos dos mecanismos son básicamente los mismos que los de las máquinas herramienta CNC y incluso máquinas herramienta en general.
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