Máquina de recubrimiento al vacío Requisitos técnicos de vacío por evaporación

Máquina de recubrimiento al vacío Requisitos técnicos de vacío por evaporación

1. La estructura del equipo debe tener un diseño razonable, una apariencia hermosa, fácil de operar y fácil de mantener.

2. La estructura y el tamaño de los sellos estáticos y dinámicos en el equipo deben cumplir con las disposiciones de GB/T 6070 y JB/T 1090-1092.

3. Se deben instalar manómetros de vacío en las tuberías de bajo y alto vacío y en las cámaras de revestimiento para medir la presión de cada parte respectivamente.

4. Si la unidad de vacío del equipo utiliza una bomba de difusión como bomba principal, se debe instalar un deflector o trampa fría en la entrada de aire de la bomba de difusión.

5. Debe haber una ventana de observación en la sala de recubrimiento y se deben instalar lentes anti-rayos en la ventana de observación para los equipos que generan radiación durante el proceso de recubrimiento.

6. El equipo con dispositivo para hornear la pieza de trabajo debe tener electrodos de medición de temperatura o dispositivos de medición de temperatura.

7. La velocidad de rotación del mecanismo giratorio del soporte de la pieza de trabajo debe cumplir con los requisitos de diseño del producto.

8. El equipo equipado con un dispositivo de bombardeo de iones o un dispositivo de fuente de iones de baja energía y haz ancho debe poder funcionar de manera continua y estable durante más de 30 minutos dentro de los parámetros especificados en los requisitos de diseño del producto.

9. El calentador que usa alambre de tungsteno como fuente de calor de evaporación debe permitir que el material de evaporación se evapore normalmente, y la geometría del calentador no debe afectar la evaporación normal durante el proceso de evaporación.

10. Las condiciones de trabajo de la fuente de evaporación del equipo deben ser estables y fáciles de ajustar y controlar. Los requisitos técnicos para diversas fuentes de evaporación (como fuentes de evaporación por resistencia, fuentes de evaporación por haz de electrones, fuentes de evaporación por haz de iones, fuentes de evaporación por láser, fuentes de evaporación inductivas, etc.) deben especificarse de acuerdo con las normas de producto correspondientes.

11. Cuando el equipo adopta una fuente de evaporación de resistencia de alta corriente y bajo voltaje, cada calentador de la fuente de evaporación debe funcionar normalmente con un voltaje de 4 V a 20 V y una corriente de 50 A a 180 A.

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