Tecnología de arco catódico de revestimiento al vacío para tasas de deposición extremadamente altas
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Tecnología de arco catódico de revestimiento al vacío para tasas de deposición extremadamente altas
La tecnología de arco de cátodo de la máquina de revestimiento al vacío es una tecnología que utiliza la descarga de arco en un entorno de vacío para evaporar e ionizar el objetivo de cátodo sólido y luego volar a la superficie del sustrato de ánodo para depositar una película a través del efecto de fortalecimiento del plasma. . Debido a esto, la tecnología de arco catódico tiene tasas de deposición extremadamente altas.
Se deposita sobre la superficie del sustrato en un ambiente de vacío que contiene gas inerte o gas reactivo. El haz de iones con alta energía es muy beneficioso para mejorar la fuerza de unión del sustrato de la película y alterar la estructura cristalina columnar de la película, lo que también puede mejorar en gran medida la organización de la película. Propiedades estructurales y mecánicas. En la actualidad, varios fabricantes de equipos de película delgada han adoptado varias medidas para reducir la generación de "gotas" a través de la investigación de principios y procesos de formación de películas.
Entre ellos, BAI1200 y RCS adoptan tecnología de fuente de cátodo de plano circular y tecnología de calentamiento por radiación, que pueden llevar a cabo una producción de revestimiento rápida. El TiAlN preparado mediante este proceso puede mejorar la estabilidad del filo de la herramienta de mecanizado y hacer posible el corte en seco.
La máquina de revestimiento al vacío realiza una mezcla uniforme de reactivos durante mucho tiempo y una concentración estable
En el proceso de aplicación real, para estudiar y mejorar el dispositivo de detección, teniendo en cuenta que la temperatura afecta el rendimiento de adsorción y absorción del material del filtro, el dispositivo se colocará en una habitación con aire acondicionado. La humedad afecta la absorción de humedad de los materiales del filtro por un lado y afecta el rendimiento de absorción de los reactivos, lo que requiere un control estricto. Se determina según el tubo de medición del catalizador y la velocidad específica. El caudal es inversamente proporcional al tiempo de protección dinámica y la concentración de reactivo también es inversamente proporcional al tiempo de protección dinámica. La fluctuación también afectará la determinación del punto final.
Para cumplir con los requisitos, se realizarán varias mejoras de vez en cuando. El aspecto principal es que el sensor de temperatura y humedad E plus E29 se utiliza para reemplazar el higrómetro de bulbo húmedo y seco. La tecnología de bomba de chorro realiza una mezcla uniforme de los reactivos durante mucho tiempo y la concentración es estable bajo la presión más baja del reactivo.
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