Doscientos años de historia de desarrollo de tecnología y equipos de máquinas de revestimiento al vacío.
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Doscientos años de historia de desarrollo de tecnología y equipos de máquinas de revestimiento al vacío.
El recubrimiento sin electrodos se utilizó por primera vez para preparar una película protectora en la superficie de los componentes ópticos. Posteriormente, en 1817, Fraunhofe atacó el vidrio con ácido sulfúrico concentrado o ácido nítrico en Alemania, y obtuvo por primera vez una película antirreflejos por accidente. Antes de 1835, alguien depositó una película de espejo de plata mediante un método de selección química húmeda. Son las primeras gafas ópticas preparadas en el mundo. película. Más tarde, varias películas ópticas se platearon en soluciones químicas y vapores. En la década de 1950, a excepción de algunas aplicaciones de recubrimientos antirreflectantes para ventanas grandes, el recubrimiento con solución química fue reemplazado gradualmente por el recubrimiento al vacío.
La evaporación al vacío y la pulverización catódica, los dos procesos físicos de recubrimiento al vacío, son los dos procesos más importantes para preparar películas delgadas ópticas en el campo industrial hasta el momento. Se aplicaron a gran escala, de hecho, tras la aparición de las bombas de difusión de aceite en 1930, los sistemas de bombeo mecánico.
En 1935, alguien desarrolló una película antirreflectante de una sola capa depositada por evaporación al vacío. Pero su primera aplicación fue en lentes para gafas después de 1945.
En 1938, Estados Unidos y Europa desarrollaron recubrimientos antirreflectantes de doble capa, pero no fue hasta 1949 que se produjeron productos de alta calidad.
En 1965, se desarrolló un sistema antirreflectante de tres capas de banda ancha. En términos de película reflectante, General Electric Company de los Estados Unidos produjo la primera lámpara recubierta de aluminio en 1937. Alemania fabricó la primera película de rodio duro antiabrasión para uso médico en el mismo año. En términos de filtros, Alemania experimentó en 1939 para depositar un filtro de interferencia tipo Fabry-Perot de película dieléctrica de metal.
En el campo del recubrimiento por pulverización catódica, alrededor de 1858, investigadores de Gran Bretaña y Alemania descubrieron sucesivamente la pulverización catódica en el laboratorio. La tecnología ha sufrido un lento proceso de desarrollo.
En 1955, después de que Wehner propusiera la tecnología de pulverización catódica de alta frecuencia, el recubrimiento por pulverización catódica se desarrolló rápidamente y se convirtió en un importante proceso óptico de película delgada. Están disponibles procesos de deposición tales como pulverización catódica bipolar, pulverización catódica tripolar, pulverización catódica reactiva, pulverización catódica magnetrónica y pulverización iónica dual.
Desde la década de 1950, las películas delgadas ópticas se han desarrollado rápidamente principalmente en dos aspectos: el proceso de recubrimiento y el diseño asistido por computadora. En cuanto al recubrimiento, se han investigado y aplicado una serie de nuevas tecnologías basadas en iones.
En 1953, Auwarter de Alemania solicitó una patente para el recubrimiento de película óptica por evaporación reactiva y propuso una propuesta para aumentar la reactividad química con gas ionizado.
En 1964, Mattox introdujo el sistema de recubrimiento iónico basado en trabajos de investigación anteriores. El sistema de iones en ese momento trabajaba bajo una presión de 10 Pa y un voltaje de descarga de 2 KV, y se usaba para recubrir recubrimientos decorativos y resistentes al desgaste en metales, y no era adecuado para recubrir películas ópticas. Posteriormente, se utilizó el recubrimiento iónico de alta frecuencia para depositar películas ópticas sobre materiales aislantes como el vidrio. Desde la década de 1970, se han estudiado y aplicado una serie de nuevas tecnologías, como la deposición asistida por iones, el revestimiento de iones reactivos y el vapor químico de plasma. Proporcionan suficiente energía de activación debido al uso de iones energéticos, aumentando la velocidad de reacción en la superficie. Mejora la movilidad de los adatomos y evita la formación de microestructuras columnares, mejorando así el rendimiento de las películas delgadas ópticas en diversos grados, que es la dirección de investigación y desarrollo de la tecnología de fabricación de películas delgadas ópticas.
De hecho, el proceso de desarrollo del recubrimiento al vacío es mucho más complicado. Echemos un vistazo a este proceso tecnológico de doscientos años:
Siglo 19
El revestimiento al vacío tiene una historia de 200 años. En el siglo XIX, se puede decir que siempre ha estado en la etapa de exploración y pre-investigación. Las penurias de los exploradores se reflejaron plenamente durante este período.
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