El grado de vacío de la máquina de recubrimiento al vacío afecta directamente el efecto de recubrimiento
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El grado de vacío de la máquina de recubrimiento al vacío afecta directamente el efecto de recubrimiento
Método de detección de fugas en equipos de recubrimiento al vacío Los fabricantes de máquinas de recubrimiento al vacío presentan la inspección de fugas de aire como una medida de inspección para garantizar el grado de vacío del equipo de recubrimiento al vacío, denominado detección de fugas, el grado de vacío afecta directamente el efecto de recubrimiento, por lo que la detección de fugas es esencial Menos.
Generalmente, la fuga de aire en la cámara de vacío se genera a partir de algunos pequeños orificios en la pared de la cámara o las ranuras de posición de conexión antes de los componentes. Cuando se evacua el sistema de extracción de aire, la presión en la cámara de vacío disminuye y la diferencia de presión entre el exterior y el interior hace que el gas escape de la alta presión. El exterior fluye hacia la cámara de vacío con baja presión, lo que hace que el grado de vacío disminuya.
El haz de electrones del recubridor al vacío puede golpear el borde del crisol
En el caso de equipos de recubrimiento al vacío anormales, cuando se aumenta la corriente del haz, el haz de electrones puede golpear el borde del crisol porque la posición del punto del haz no está en el centro, o la posición del punto del haz está en el centro. , pero se penetra el material evaporado, etc., no habrá indicación de alta presión. Esto se debe a que la salida de alto voltaje está aproximadamente en cortocircuito, lo que hace que la corriente del haz de electrones sea mayor que el valor predeterminado, y el tubo del interruptor principal está en estado de corte, soportando todo el alto voltaje, por lo que el alto -el voltaje no tiene salida. Debido a la corriente de haz excesiva causada por el encendido, la señal de sobrecorriente obtenida en el circuito de detección de corriente R21 hace que el tubo regulador D13 se rompa y conduzca, BG14, BG15 y BG16 están en estado de conducción y C13 se descarga a través de BG14 y R51. . Haga que BG11, BG12, BG13 se corten pronto, la salida de BG11 es 0V. BG10 en el circuito de conmutación de voltaje de la puerta recibe la señal de entrada de 0 V y se apaga, BG9 se enciende inmediatamente, el terminal positivo de 550 V se conecta al cátodo del tubo del interruptor principal a través de BG9 y el terminal negativo está conectado a la puerta del tubo del interruptor principal a través del tubo D5. Obtenga la polarización de -550V e ingrese el corte de profundidad, en este momento no hay indicación de alto voltaje.
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