Se probaron la deformación y la compensación de la cámara de vacío de la recubridora al vacío.
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Se probaron la deformación y la compensación de la cámara de vacío de la recubridora al vacío.
Para verificar los resultados del cálculo de elementos finitos, se probaron la deformación y compensación de la cámara de vacío. El primer paso es colocar los cuatro indicadores de cuadrante en el exterior de la pared de vacío del punto base del banco de trabajo. Cuando la cámara de vacío se evacua de la atmósfera al vacío, registre el cambio de cada indicador de carátula. El colimador ajusta la compensación de deformación.
El autocolimador ajustado horizontalmente emite un haz de luz láser a través de la ventana de vidrio de la cámara de vacío para iluminar el reflector fijo en la mesa de trabajo y ajustar el mecanismo de ajuste de compensación y formación en el entorno atmosférico, de modo que el haz reflejado entre en el campo receptor de Vista del autocolimador. , registre la desviación angular bidimensional.
Tecnología de arco catódico de recubridor al vacío
La tecnología de arco de cátodo de la máquina de revestimiento al vacío es una tecnología que utiliza la descarga de arco en un entorno de vacío para evaporar e ionizar el objetivo de cátodo sólido y luego volar a la superficie del sustrato de ánodo para depositar una película a través del efecto de fortalecimiento del plasma. . Debido a esto, la tecnología de arco catódico tiene tasas de deposición extremadamente altas.
La máquina de revestimiento al vacío puede realizar pasivamente una protección dinámica
La máquina de revestimiento al vacío tiene un dispositivo de detección de autocontrol, que puede llevar a cabo una protección dinámica de forma pasiva. En el proceso de aplicación real, para estudiar y mejorar el dispositivo de detección, teniendo en cuenta que la temperatura afecta el rendimiento de adsorción y absorción del material del filtro, el dispositivo se colocará en una habitación con aire acondicionado. La humedad afecta la absorción de humedad de los materiales del filtro por un lado y afecta el rendimiento de absorción de los reactivos, lo que requiere un control estricto. Se determina según el tubo de medición del catalizador y la velocidad específica. El caudal es inversamente proporcional al tiempo de protección dinámica y la concentración de reactivo también es inversamente proporcional al tiempo de protección dinámica. La fluctuación también afectará la determinación del punto final.
Para cumplir con los requisitos, se realizarán varias mejoras de vez en cuando. El aspecto principal es que el sensor de temperatura y humedad E plus E29 se utiliza para reemplazar el higrómetro de bulbo húmedo y seco. La tecnología de bomba de chorro realiza una mezcla uniforme de los reactivos durante mucho tiempo y la concentración es estable bajo la presión más baja del reactivo.
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