Requisitos técnicos para equipos de revestimiento al vacío para galvanoplastia de tubos de calefacción eléctrica

Requisitos técnicos para equipos de revestimiento al vacío para galvanoplastia de tubos de calefacción eléctrica

1. La estructura de las tuberías de vacío y las partes de sellado estático (bridas, anillos de sellado, etc.) en los equipos de los fabricantes de galvanoplastia al vacío deben cumplir con los requisitos de GB/T6070.

2. El fabricante de galvanoplastia al vacío debe instalar manómetros de medición de vacío en las tuberías de bajo y alto vacío y en la cámara de recubrimiento al vacío para medir el grado de vacío de cada parte respectivamente. Cuando se descubre que el campo eléctrico interfiere con la medición, se debe instalar un dispositivo de protección de campo eléctrico en el puerto de medición.

3. Si la bomba principal utilizada por el equipo es una bomba de difusión, se debe instalar una trampa de vapor de aceite en el costado de la entrada de aire de la bomba.

4. La sala de recubrimiento del equipo debe estar equipada con una ventana de observación y un dispositivo deflector. La ventana de observación debe poder observar las condiciones de trabajo de la fuente de deposición y otras partes clave.

5. El diseño de la fuente de deposición de recubrimiento de iones debe mejorar la tasa de ionización durante el proceso de recubrimiento tanto como sea posible, mejorar la tasa de utilización del material de recubrimiento, igualar razonablemente la potencia de la fuente de deposición y organizar razonablemente la posición de la deposición. fuente en el cuerpo de la cámara de vacío.

6. Organice razonablemente el dispositivo de calefacción. En general, la estructura y el diseño del calentador deben hacer que el aumento de temperatura de la pieza de trabajo enchapada sea uniforme y constante.

7. El soporte de la pieza de trabajo debe estar aislado del cuerpo de la cámara de vacío, y el diseño del soporte de la pieza de trabajo debe hacer que la capa de película de la pieza de trabajo sea uniforme.

8. El equipo de recubrimiento de iones generalmente debe tener una polarización negativa de la pieza de trabajo y una fuente de alimentación de bombardeo de iones. La fuente de alimentación de bombardeo de iones debe tener un dispositivo para suprimir descargas anormales para mantener un funcionamiento estable.

9. El tamaño de la resistencia de aislamiento entre las partes de la cámara de vacío conectadas a diferentes potenciales está de acuerdo con 4.4.6 en GB/T11164-1999

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