Horno monocristalino lleno de gas argón, potencia en litros, material de fusión

Horno monocristalino lleno de gas argón, potencia en litros, material de fusión

a. Después de agotar la fuga y pasar la prueba, encienda la bomba de vacío.

b. Abra lentamente la válvula de bola.

C. Encienda el sistema de carga de gas argón y ajuste el caudal de argón en la cámara auxiliar a 20~30L/Min para estabilizar la presión en el horno a 1000~1500Pa.

d. Encienda el interruptor de calefacción.

mi. Según la siguiente tabla, aumente la potencia paso a paso a través del medidor europeo. Cada calentamiento se registra en consecuencia. El uso del Eurometro debe manejarse con cuidado para evitar el rápido aumento de potencia, que puede causar que el transformador se sobrecargue instantáneamente, o causar una corriente excesiva instantánea a todo el circuito de calefacción y causar ignición o daños. El calentamiento debe realizarse estrictamente de acuerdo con la secuencia de calentamiento; de lo contrario, la temperatura puede aumentar repentinamente y provocar que el crisol de cuarzo se agriete y pierda silicio.

poder del tiempo

0mínimo 50 KW

30min 70KW

60 minutos<100KW

F. Durante el proceso de fusión, preste siempre atención a la situación en el horno. Si no hay un colapso anormal, el crisol se ajusta para que gire 2 r/min y se eleva la posición apropiada del crisol. Y realizar los registros correspondientes. Al levantar el crisol, tenga cuidado de que la superficie del líquido de silicona no toque el borde inferior del tubo guía. Después de levantar el bote, confirme que el bote no tiene acción en la escala de posición del bote. De lo contrario, el tubo de desviación se adherirá al silicio y provocará que el silicio salte.

gramo. Cuando el material esté derretido, reduzca la potencia de calentamiento a la temperatura de siembra (correspondiente al horno). Ajuste la olla a 5 ~ 7 r/min y haga los registros correspondientes.

h. Cuando el valor del Eurometro cae al valor correspondiente a la temperatura de siembra, se realiza el corte automático y la maceta se eleva a la posición estable de la maceta de siembra, es decir, la distancia desde el tubo guía a la superficie del líquido es unos 15 mm. La posición del recipiente de siembra también se puede determinar según el aumento/disminución de la cantidad de alimentación en función de la carga del horno. Para obtener más información, consulte el Apéndice A. Tabla de referencia de cambio de posición de siembra. Y realizar los registros correspondientes.

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