Finalizando y apagando el horno monocristal:

Finalizando y apagando el horno monocristal:

Cuando se tira del monocristal hasta la cola, se inicia el final. Cuando el diámetro del monocristal alcanza Φ10-80mm, la zona de fusión se separa. En este momento, el eje inferior continúa moviéndose hacia abajo y el eje superior cambia para moverse hacia arriba, mientras la potencia permanece en 40 ± 10%, enfriando lentamente el cristal. Un dispositivo de crecimiento monocristalino de Czochralski pertenece al campo técnico de los equipos de crecimiento de semiconductores. Incluye un servosistema hidráulico para ajustar la varilla del crisol; en la unidad de control de calefacción, un transformador de equilibrio trifásico, un condensador de filtro, un reactor y una resistencia se combinan y conectan en paralelo con la fuente de armónicos; también dispone de un dispositivo de llenado de gas de frecuencia variable. La presente invención supera la incapacidad del dispositivo de accionamiento de elevación del eje de crisol existente para garantizar eficazmente la estabilidad del control de producción y la precisión insuficiente, supera la incapacidad de la unidad de control de calentamiento existente para eliminar armónicos y también supera la incapacidad del dispositivo de accionamiento de elevación del eje de crisol existente. no puede garantizar eficazmente la estabilidad del control de producción y la precisión es insuficiente.

Giratorio, sujeción y liberación de abrazadera del horno monocristalino:

Cuando el diámetro del hombro expandido es diferente del diámetro de sujeción del monocristal en 3-20 mm, se debe reducir la velocidad de expansión del hombro y se debe girar el hombro hasta alcanzar el diámetro requerido. Se mantiene el monocristal. El isodiámetro se mantiene en 75 mm-220 mm y el monocristal crece. La velocidad es de 1 mm/min-5mm/min. Durante el proceso de expansión del hombro, cuando la distancia entre las clavijas del soporte del monocristal en el hombro del monocristal es inferior a 2 mm, el soporte se soltará y el monocristal quedará sujeto;

Expansión de hombro del horno monocristalino y llenado de nitrógeno:

Después del crecimiento del cuello, expanda los hombros, reduzca lentamente la velocidad más baja a 3 ± 2 mm/min, al mismo tiempo que aumenta el diámetro de los hombros expandidos, continúe disminuyendo y baje a 8 ± 4 rpm, y reduzca lentamente y suba a 1± 0.5rpm; Para evitar la ionización a alta presión, se introduce una cierta proporción de nitrógeno en una atmósfera protectora de argón y la proporción de mezcla de nitrógeno es del 0.01% al 5% de la del argón;

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