Explicación de la tecnología de calibración de temperatura para termómetros de hornos de recocido de alta temperatura

Se informa que el horno de recocido de alta temperatura adopta un sistema de control de circuito cerrado compuesto por un controlador de temperatura PLD digital acelerado, termopar, pirómetro y fuente de calor para controlar correctamente la temperatura. Mediante el control colaborativo de lámparas halógenas en diferentes regiones, la diferencia de temperatura en cada región se puede compensar durante el proceso de control de temperatura, manteniendo sin cambios la temperatura de diferentes regiones en el sustrato. Debido a su instalación en el fondo de la cavidad, el pirómetro sólo puede recibir radiación de la parte posterior del sustrato y no puede recibir radiación de la lámpara. Por tanto, un pirómetro puede medir con precisión la temperatura del sustrato. El principio de calibración de temperatura de este pirómetro es el siguiente:
1. Introducción al pirómetro:
El pirómetro presentado en este artículo es un pirómetro óptico de radiación térmica. Cuando el pirómetro recibe radiación infrarroja del objeto medido, la señal óptica se filtra, se convierte fotoeléctricamente y se amplifica para convertirse en una señal analógica, que luego se transmite al módulo de circuito de interfaz de señal del sensor. Este módulo realiza la conversión A/D de la señal y la convierte en una señal digital que puede ser reconocida por la computadora. La señal digital devuelta a la computadora se denomina valor de retroalimentación del pirómetro en el siguiente texto.
2. Tabla de calibración de temperatura:
Según las leyes pertinentes, la temperatura de un objeto está relacionada con su radiación y emisividad espectral. Para los hornos de recocido de alta temperatura, la cantidad de radiación recibida por el pirómetro depende principalmente de factores como el material del sustrato, el dopaje, la capa de óxido natural en la superficie y la temperatura del sustrato. Para el mismo tipo de sustrato (es decir, sustratos con el mismo material, dopaje y capa de óxido natural superficial), la cantidad de radiación recibida por el pirómetro está relacionada con la temperatura del sustrato. Por lo tanto, para el mismo tipo de sustrato, el valor de retroalimentación del pirómetro corresponde uno a uno con la temperatura del sustrato. Esta correspondencia constituye datos de calibración de temperatura, y se utiliza una tabla de calibración de temperatura para almacenar los datos de relación entre múltiples temperaturas de sustrato y valores de retroalimentación de un pirómetro. Diferentes temperaturas corresponden a diferentes valores de retroalimentación del pirómetro. La computadora del horno de recocido de alta temperatura puede calcular la temperatura real del sustrato basándose en la retroalimentación del valor de la señal del pirómetro y la tabla de calibración de temperatura.