Fuente de iones oscilantes de electrones para plateado al vacío

Fuente de iones oscilantes de electrones para plateado al vacío

Para fuentes de colisión de electrones simples con haces de electrones paralelos, la eficiencia de ionización se ve afectada principalmente por la longitud promedio de las trayectorias de los electrones dentro de la región de ionización. La fuente de iones de tipo oscilación de electrones tiene el mismo potencial para el cátodo y el cátodo, y los electrones emitidos por el cátodo oscilarán hacia adelante y hacia atrás entre el cátodo y el cátodo opuesto, lo que aumenta la longitud de la trayectoria de los electrones y mejora la eficiencia de ionización de la fuente de iones.

Debido al aumento de la longitud efectiva de la trayectoria de los electrones, se mejora su eficiencia de ionización, y este tipo de fuente de iones generalmente funciona bajo un gran flujo de electrones de emisión de aproximadamente 5 mA, por lo que la carga espacial de los electrones desempeñará un papel correspondiente, reduciendo la cantidad de iones. fuente. El potencial en el eje hace que los iones se concentren en el eje de la fuente, lo que es más favorable para la extracción de iones. Por lo tanto, la sensibilidad de este tipo de fuente de iones es un orden de magnitud mayor que la de la fuente de iones Nier ordinaria.

Fuente de colisión de electrones tradicional plateada al vacío

Una fuente de iones de impacto de electrones tradicional diseñada por Nier se compone de una cámara de ionización, un cañón de electrones y un sistema óptico de iones. Generalmente, para simplificar su estructura, la fuente de iones de electrones tradicional utilizada en el analizador de vacío de media y baja resolución no suele utilizar un campo magnético externo. El alambre de tungsteno se usa comúnmente como material catódico, por lo que existen desventajas como alta temperatura de trabajo, propiedades mecánicas frágiles del material después de trabajar a alta temperatura y mala estabilidad de las emisiones.

Posteriormente, se utilizó como mejora una fuente de iones de alto rendimiento para espectrómetros de masas de cuadrupolo. Esta fuente de iones mejorada tiene una región de ionización más grande, y en esta región de ionización más grande, hay un campo eléctrico de extracción moderadamente fuerte, que también actúa para concentrar iones, por lo que su rendimiento de iones es mayor.

Además, la cámara de ionización de este tipo de fuente de iones está compuesta por muchos electrodos de anillos anulares en forma de láminas, de modo que se reduce el cambio de rendimiento causado por la contaminación de la superficie del electrodo. La dispersión de energía iónica de este tipo de fuente de iones es inferior al 0.5 por ciento del voltaje de extracción de iones, por lo que tiene sólo un pequeño efecto en el poder de resolución del instrumento.

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