Deposición de películas delgadas sobre sustratos mediante el método de pulverización catódica de una recubridora al vacío
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Deposición de películas delgadas sobre sustratos mediante el método de pulverización catódica de una recubridora al vacío
La pulverización catódica es un fenómeno en el que se utilizan partículas cargadas (generalmente iones positivos de gas inerte) para bombardear la superficie de un sólido (en lo sucesivo, el objetivo), lo que hace que los átomos (o moléculas) en la superficie del objetivo escapen de él. Este fenómeno fue descubierto por Grove en 1842 mientras estudiaba experimentalmente el problema de la corrosión catódica, cuando el material del cátodo migraba a la pared del tubo de vacío. El recubridor al vacío utilizó este método de pulverización catódica para depositar películas delgadas sobre el sustrato y se introdujo en 1877.
Clasificación y ámbito de aplicación de la máquina de recubrimiento al vacío.
Por lo general, el método de desgasificación de la pieza de trabajo que utilizamos es el horneado, y el gas y la humedad de la pieza de trabajo se descargan mediante calentamiento. Antes del recubrimiento, la pieza de trabajo se calienta mientras se bombea. Junto con el gas en la cámara de vacío, es bombeado por la bomba de vacío.
Se toman diferentes medidas de desgasificación para diferentes piezas de trabajo para controlar efectivamente la emisión de gas y humedad dentro de la pieza de trabajo y mejorar la estabilidad y uniformidad del recubrimiento. Clasificación y ámbito de aplicación de la máquina de recubrimiento al vacío La máquina de recubrimiento al vacío se refiere principalmente a un tipo de recubrimiento que debe realizarse en alto vacío, incluidos muchos tipos, incluida la evaporación de iones al vacío, la pulverización catódica con magnetrón, la epitaxia de haz molecular MBE, la deposición por pulverización catódica con láser PLD Y tantos tipos.
La probabilidad de la máquina de recubrimiento al vacío depende de las propiedades físicas de la pieza de trabajo en sí.
Algunas piezas de trabajo tienen mucho gas, humedad, etc. en sí mismas. Estas sustancias se descargarán en la cámara de vacío cuando el equipo se caliente, reduciendo el grado de vacío. Además, algunos gases tienen componentes tóxicos que dañan directamente la cámara de vacío. La estructura mecánica interna hace que el equipo no funcione correctamente. Además, durante el proceso de recubrimiento, debido al calentamiento y la expansión del gas en la pieza de trabajo, es fácil romper la película recubierta. Por supuesto, la probabilidad de esta situación depende de las propiedades físicas de la propia pieza de trabajo, como los plásticos que son fáciles de expandir, la probabilidad es relativamente alta. Para materiales duros como el metal, la probabilidad es relativamente baja, pero no se puede ignorar, por lo que es muy necesaria la desgasificación de la pieza de trabajo.
El estado de vacío es el entorno que respalda el funcionamiento de la máquina de recubrimiento al vacío, especialmente el equipo que requiere un alto grado de vacío. Por lo general, necesitamos lograr un alto grado de vacío. El papel del sistema de extracción de aire es indispensable, pero además del sistema de extracción de aire, en el equipo de recubrimiento al vacío En el proceso de operación, otro punto es la desgasificación de la pieza de trabajo.
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