Contramedidas para mejorar la inestabilidad de la señal de los equipos de galvanoplastia al vacío:
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Contramedidas para mejorar la inestabilidad de la señal de los equipos de galvanoplastia al vacío:
1. Sistema de película de diseño:
●El índice de refracción del material de película seleccionado en el diseño del sistema de película debe ser consistente con la máquina utilizada para el material de película;
La tolerancia del espesor y el índice de refracción deben considerarse en la medida de lo posible en el diseño del sistema de película (la tolerancia del espesor y el índice de refracción de cada capa es del 1 por ciento -2 por ciento), especialmente en la capa sensible, debe haber una cierta tolerancia. (1 por ciento)
●El valor de "herramienta" del espesor de control y el espesor de prueba real deben ser precisos y el ajuste debe confirmarse con frecuencia.
●Los requisitos técnicos del diseño deben ser superiores a los requisitos técnicos de los dibujos.
● Considerar la influencia de la variación del índice de refracción de la capa de variación del sustrato en el diseño.
●Considere el cambio del índice de refracción de los materiales de la película y la coincidencia entre los materiales de la película y entre los materiales de la película y los sustratos durante el diseño.
2. Los fabricantes y modelos de materiales de membrana, virutas y materiales de nitrato utilizados en el lugar de trabajo no deben cambiarse con frecuencia una vez confirmados, y aquellos que deben cambiarse deben confirmarse varias veces.
3. Para prevenir y evitar la ocurrencia de errores en las tareas,
Cuarto, fortalecer el monitoreo de la prueba espectroscópica de cada lente, establecer la curva espectroscópica de advertencia y ajustar el sistema de película a tiempo.
5. Se fortalece la gestión de las piezas de prueba y comparación para garantizar que la superficie de las piezas de prueba y comparación recubiertas con la cubierta esté libre de contaminación, fresca y la apariencia cumpla con los requisitos especificados. Antes de su uso, realice una prueba en la pieza de comparación para medir su reflectancia (solo se puede medir un punto de longitud de onda) y compare el valor medido con el valor teórico. Generalmente el valor medido es menor que el valor teórico (efecto de capa de corrosión). Si la diferencia entre los dos valores es relativamente grande o demasiado grande (por ejemplo, más del 1 por ciento), se debe considerar renovar o reemplazar la pieza de comparación.
6. La prueba espectroscópica de la lente debe realizarse después de que el sustrato se haya enfriado por completo.
7. Domine la ley de cambio de la sensibilidad del chip de control de cristal y corrija los datos de control a tiempo. La sensibilidad del chip de control de cristal no es exactamente la misma cuando es nuevo y después de usar varias cubiertas, y el valor de impedancia acústica del chip cambiará ligeramente. Algunos controladores de cristal (como IC5) se pueden configurar para corregir automáticamente, pero la mayoría de los controladores de cristal no tienen la función de corregir automáticamente el valor de impedancia acústica. Una vez dominada la ley de sensibilidad de las obleas, se puede corregir ajustando el espesor de la película.
8. Mejorar el efecto de enfriamiento de la sonda controlada por cristal. Cuando la temperatura de la oblea es superior a 50 grados, el error de medición es grande.
9. El uso de tecnología de recubrimiento asistido por iones puede mejorar la estabilidad de las características espectroscópicas de la película.
10. Revise la aplicabilidad del control de iluminación del sistema de película en la máquina.
11. Revisión de la influencia humana en el control de la iluminación.
12. Siempre verifique la trayectoria de la luz, la señal, la pieza de prueba, etc. del control de luz.
13. Diseñar el sistema de película adecuado para el control de la luz.
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